一种新紧凑型高功率EUV光源，应用潜力不可小觑 | OE NEWS

Klas已在实验室环境中测试了该成果的首个潜在应用——无镜头显微镜，特别是几纳米范围内的成像。他表示：“我们在13.5 nm的曝光波长下实现了18 nm的分辨率，而传统的光学显微镜通常只能实现略低于500 nm的分辨率。在一项实验中，我们获得了100×100 μm的‘视野’，这意味着其可以覆盖足球场大小的图像，并在其中找到一枚硬币。”

使用基于EUV的显微镜，可以生成被研究样品的彩色图像。通过这种方式，研究人员可以观察细胞内部，并区分不同元素或不同物质的比例，如碳或脂类。

该研究提供了迄今为止实验室规模上最强的类激光EUV光源，平均功率达10 mW。与Klas刚开始攻读博士学位时的同类系统中最大功率相比，此EUV光源的功率高出一百倍。

Klas表示，该研究成果有望推动芯片能量和存储效率以及生物学、医学等领域的发展，并有望研究不同类型的病毒。“在某种程度上，我们还希望能够使用这种方法对直径约为2 nm的DNA进行成像。”

这一突破性研究在半导体制造业和显微镜等领域具有巨大应用潜力，因此被授予雨果·盖革奖(Hugo Geiger Award)。

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