Menu产品中心激光器飞秒超快激光Class5多光子显微成像激光Coherent飞秒超快激光器AVESTA飞秒激光器Menhir高重频低噪声飞秒Fluence飞秒光纤激光器Lithium紧凑型高功率飞秒ActiveFiber高功率飞秒光纤SolarLaser全固态飞秒Laser Quantum飞秒激光器SourceLAB超强激光等离子体Prospective多光子成像飞秒FSXCycle超快激光时间同步Amplitude超快激光器neoLASE工业超快激光Fibercryst飞秒光纤放大Chromacity超快光纤激光器IMRA超快光纤激光器Fastlite超快激光系统LaserFemto飞秒光纤激光Litilit飞秒光纤激光KMLabs超快X射线光源皮秒纳秒激光HiLASE高能量皮秒激光Passat皮秒纳秒激光器Irisiome皮秒光纤激光器FYLA超连续谱超快激光器LotisTII可调谐皮秒激光Refined可调谐皮秒激光Sirah高重频纳秒染料激光器QLI可调谐纳秒激光器Excelitas光学参量振荡器CW-OPOALS皮秒激光器PILAS可调谐激光器Santec波长可调谐激光器Radiantis超快OPO系统Stuttgart中红外OPOSuperlum扫频可调谐半导体激光器GouMax光通信测试仪表扫频激光器OCTLIGHT高速扫频激光器Axsun高速扫频激光器Optores扫频激光器光纤激光器AdValue光纤激光器NP Photonics光纤激光器Azurlight超高功率单频激光器MW Technologies光纤激光器Optromix光纤激光器Alnair Labs光纤激光器Amonics 1550nm光纤放大器Lumibird光纤激光器超连续中红外Leukos超连续谱激光器Novae中红外超短脉冲激光Femtum中红外飞秒光纤激光紫外光源CryLaS紫外激光器Oxide紫外激光器量子级联激光器Block Engineering量子级联激光Pranalytica高功率量子级联激光Alpes Lasers量子级联激光稳频激光器Stable Laser Systems稳频激光器DMF Stabiλaser超稳频激光固体半导体Excelitas二极管激光器iFLEXSkylark高功率窄线宽激光器Muquans激光冷原子测量MOGLabs半导体激光器Toptica半导体激光器Lighthouse二极管泵浦绿色激光器Aerodiode激光二极管及驱动器QPhotonics激光二极管Superlum超辐射发光二极管SLDLaser Quantum固体连续激光白光气体光源Energetiq激光驱动白光光源Plasma气体激光器Lumencor显微镜光源ISTEQ等离子体光源Synrad Firestar i401 CO2激光器Asahi氙灯光源自适应光学变形镜ALPAO自适应光学模态控制可变形镜高速可变形镜大口径高速连续变形镜波前传感器自适应闭环软件自适应光学系统OKO自适应光学可变形镜PDM MMDM波前传感器自适应光学系统Dynamic Optics自适应光学Dyoptyka散斑抑制变形镜NightN自适应光学可变形镜-超高功率激光波前传感器光学表面形貌测试仪HION斐索干涉仪RIF人眼像差仪ISP SYSTEM精密光学控制Boston自适应光学Microgate自适应光学Phaseform透射式变形镜ROBUST AO变焦反射镜波前传感器法国Phasics波前传感器波前传感器SID4波前传感器SID4-SC8s生物显微定量相位成像SID4-Bio超高真空度波前传感器SID4-VKaleo MultiWAVE多波长干涉仪Kaleo MTF测试平台PhaseView生物显微测量空间光调制器Santec空间光调制器Holoeye空间光调制器PLUTOJENOPTIK一维空间光调制器Holoeye空间光调制器GAEAHamamatsu空间光调制器ViALUX数字微镜阵列DMD干涉仪传函仪Difrotec点衍射激光干涉仪OEG光学传递函数MTFOptikos镜头检测LensCheck湍流模拟器Lexitek湍流模拟相位板SURISE热风式大气湍流模拟器SURISE液晶大气湍流模拟器光场调控器件RPC涡旋相位板ARCoptix可变螺旋板Q-PLATELC-TEC液晶高速光开光常用仪器相机CMOSXenics红外相机Allied Vision红外相机Raytrix 3D光场相机PHOTONIS相机TELOPS红外热像仪NAC高速摄像机Phantom超高速相机Hamamatsu CMOS相机NUVU背照式EMCCD相机FirstLight高速近红外EMCCDDouble Helix Optics深度相机AOS高速相机PCO科学相机Axis超快条纹相机量子信息光学Zurich量子测控Intermodulation微波合成分析QBLOX量子比特控制Swabian时间相关单光子计数Maybell稀释制冷机Basel低噪声超稳定电子设备Excelitas光子探测器UQDevices多光子计数FLIM LABS荧光寿命成像Photonscore光子计数Pi Imaging单光子相机Sparrow单光子源FEMTO低噪声放大器光纤光电器件AOS光纤布拉格光栅Gooch Housego光电器件iXblue电光调制器LUNA光纤传感通信GLOphotonics光子晶体光纤Alnair Labs光学滤波器大气天文探测Miratlas一体化大气监测仪ALCOR SYSTEM天文仪器Plair环境监测系统VOYIS海洋水下探测振镜激光调控SCANLAB扫描振镜EOPC光学扫描系统LINOS激光场镜Cambridge MOVIA振镜Cambridge共振型扫描振镜CRSSill Optics激光场镜MRC激光稳定系统Mirrorcle微扫描镜PLS高速多边形扫描仪光束分析测量Duma光束质量分析仪Liquid多功能测量仪Duma自准直仪HighFinesse波长计Bristol激光波长计数据采集处理Licel数据采集系统AlazarTech高速数据采集处理Spectrum高速数字化仪AMPI刺激器Alnair Labs电脉冲发生器Keysight电子测量与分析仪器AnaPico射频微波信号分析与测量红外光谱ARCoptix红外光谱仪PhaseTech二维红外光谱仪NLIR中红外传感器Optogama红外观察仪IR ViewerEMO高性能红外观测仪超快测量整形Swamp Optics超短脉冲测量FemtoEasy超快测量PhaseTech飞秒光谱脉冲整形n2 Photonics飞秒脉冲压缩few cycle超快激光技术Amonics超短脉冲分析仪太赫兹Lytid太赫兹技术光学元器件光栅few cycle超快啁啾镜Wasatch OCT光栅光谱OptiGrate布拉格光栅Spectrogon光栅滤光片Layertec滤波片Alluxa超窄带滤光片Chroma滤光片Andover带通滤光片Acton紫外衰减片Ondax光学元件Spectrogon滤光片Asahi滤光片反射镜镀膜Layertec超快激光反射镜VIAVI高功率大尺寸光学元件镀膜Acton紫外光学元件OptoSigma超级反射镜Optoman超快激光反射镜支架转台Lexitek电动旋转台其他常用光学表面清洁剂First Contact大型仪器显微系统LyncéeTec数字全息显微镜反射式数字全息显微镜DHM-R透射式数字全息显微镜DHM-TFemtonics多光子显微镜Prospective多光子显微镜Lumicks光镊荧光Lumicks m-Trap光镊Lumicks C-Trap光镊自动化机械ISP精密自动化机械设备微纳加工WOP飞秒激光微加工系统加速质谱仪HVE离子束和电子束设备HVE加速器质谱仪HVE离子加速器系统Ionplus加速器质谱仪低能量碳十四小型加速器质谱系统LEA放射性碳定年小型加速器质谱系统MICADAS多核素低能量小型加速器质谱系统MILEA light多核素低能量小型加速器质谱系统MILEA半导体设备Plassys薄膜沉积和蚀刻设备Picosun原子层沉积TSST脉冲激光沉积Sentech等离子刻蚀原子层沉积MBE分子束外延设备光伏设备WEP电化学ECV掺杂浓度检测pv-tools接触电阻测试仪Horiba椭圆偏振光谱仪Sinton少子寿命测试仪Horiba氧/氮/氢分析仪合作自营赋同量子超导纳米线单光子探测北京卓镭超快激光TINY系列Nd:YAG 纳秒激光器BLAZER系列中高功率超快皮秒激光器LAMBER系列纳秒激光器国盾量子科学仪器国盾量子高亮度纠缠源国盾量子高速近红外单光子探测器国盾量子高速皮秒脉冲激光器国盾量子可见光波段单光子探测器SURISE热风式大气湍流模拟器SURISE液晶大气湍流模拟器SURISE夏克-哈特曼波前传感器SURISE全息光镊系统SURISE飞秒激光频率梳SURISE高性能激光器SURISE高时间对比度TW/PW激光系统SURISE数字微镜阵列DMDSURISE大气光学参数测量仪SURISE光学仪器专用干燥柜解决方案自适应光学多光子显微成像光学相干层析成像OCT大气湍流大气激光雷达量子光学合作伙伴 首页 行业新闻 五维位姿监测的曲率半径高精度测量 五维位姿监测的曲率半径高精度测量 导读 球面镜作为光学领域的基础元件，在空间遥感、光刻机和精密成像系统等国家重大专项和前沿科技领域中得到了广泛的应用。曲率半径作为球面元件的基本参数，其加工精度直接关系到整体光学系统的成像质量。 目前，光学元件参数的加工精度主要依靠精密检测和反复修正进行保证，曲率半径的加工精度主要由测量精度决定，因此提升曲率半径的检测精度成为保障球面元件加工精度、进而提升光学系统整体性能的关键。 针对该问题，本团队提出激光差动共焦曲率半径测量方法，实现了对被测镜的高精度定焦，通过定位被测镜“猫眼-共焦”位置对曲率半径参数进行高精度测量，理论精度可达到5×10⁻⁶。但在实际测量过程中，由于被测镜装调误差的影响，被测镜光轴与测量光轴难以重合、存在夹角，从而引入余弦测量误差，成为工程中制约曲率半径测量精度提升的重要瓶颈。 近期，北京理工大学光电学院“复杂环境智能感测技术”工信部重点实验室的庄雨晴与王允等人在《光学 精密工程》（EI、Scopus，中文核心期刊，《仪器仪表领域高质量科技期刊分级目录》和《光学和光学工程领域高质量科技期刊分级目录》“T1级”期刊）上发表了题为 “五维位姿监测的差动共焦曲率半径测量方法”的封面文章。 2023年7期封面 曲率半径测量中的余弦误差 对于球面被测镜，定位被测镜表面可获得“猫眼”点坐标，定位表面的球心可获得“共焦”点坐标，两坐标相减即可得到被测表面的曲率半径。该“猫眼-共焦”法测量曲率半径直接、准确，但要求被测镜光轴与测量光轴严格重合；当被测镜装卡时存在位置偏移或姿态倾斜，如图1所示，被测镜光轴与测量光轴存在夹角，曲率半径测量会引入余弦误差，该误差成为制约实际测量中曲率半径精度提升的主要因素。 图1：被测镜倾斜示意 五维位姿监测调整消除余弦误差的原理 本研究提出了“五维位姿监测的差动共焦曲率半径测量方法”，原理如图2所示，驱动被测镜绕轴回转，通过监测旋转被测镜返回的测量光束形成的轨迹计算被测镜的位姿偏差，通过五维位姿调整修正被测镜的偏心和倾斜，实现被测镜光轴与测量光轴重合，消除余弦误差，提升实际工程中被测镜表面曲率半径的测量精度。 在测量过程中，首先将被测镜装卡在五维位姿调整机构上，调整定焦光路初步定焦被测镜的“共焦”位置，然后驱动被测镜旋转，在探测器上监测被测镜共焦点轨迹，拟合计算得到被测镜光轴与测量光轴之间的夹角；然后，通过五维位姿调整机构对被测镜进行偏心和倾斜调整补偿，经过迭代调整后可实现被测镜光轴与测量光轴重合，从而消除曲率半径测量中的余弦误差；再利用差动共焦曲线的过零点对被测面“共焦”和“猫眼”位置进行精确定焦，获得被测镜球心点和球面顶点的空间位置，即可精确得到曲率半径的测量值。 图2：位姿监测调整曲率半径测量原理 应用前景 利用五维位姿监测调整消除余弦误差的方法不仅显著提升了曲率半径的测量精度，为光学透镜的高精度加工提供了一种高精度的检测手段，而且作为一种新思路可扩展应用到透镜厚度、焦距和镜组间隔等多种参数测量中，全面提升光学元件参数的检测精度。 论文信息 庄雨晴,章广威,赵维谦等.五维位姿监测的差动共焦曲率半径测量[J].光学精密工程,2023,31(07):975-981. DOI：10.37188/OPE.20233107.0975. https://ope.lightpublishing.cn/thesis/65/34667375/zh/ 团队负责人简介 赵维谦，北京理工大学长江学者特聘教授，博士生导师，为国务院学位委员会“仪器科学与技术学科”学科评议组成员、中国光学学会光学测试专业委员会副主任委员等，获国家首批“万人计划”百千万工程领军人才等。长期致力于精密光电测试技术与仪器的创新研究，主持了包括国家重大科学仪器设备开发专项项目、国家863计划主题项目、国家自然科学基金重大类/重点/科学仪器研究项目等。研究成果获1项国家技术发明一等奖（排名2）、 1项国家技术发明二等奖（排名1）、5项部级发明/科技进步一等奖等10余项科技奖项，发表SCI检索论文近百篇，授权中外发明专利100余项。 团队介绍 赵维谦教授带领的团队“激光差动共焦精密测量技术”团队，依托北京理工大学“复杂环境智能感测技术”工信部重点实验室等，主要从事元件参数测量领域的研究工作，在光学精密检测、精密机械、光电传感与控制等方面具有长期的技术积累，发明并研制出国际上具有鲜明特色的激光差动共焦元件参数测量仪器等，承担了包括国家重大仪器开发专项、国家重点研发计划等在内的多项科研任务。 免责声明：本文旨在传递更多科研资讯及分享，所有其他媒、网来源均注明出处，如涉及版权问题，请作者第一时间联系我们，我们将协调进行处理，最终解释权归旭为光电所有。 计算机视觉-光通信的新手段 数字液滴PCR图像的荧光信息提取 仿生复眼：“十”字型四孔径视场部分重叠仿生热成像 光电系统性能的倍增器：高速微扫描超分辨技术 中国光学十大进展·特邀综述·封面文章 | 光学斯格明子，光场调控新领域 北邮桑新柱团队3D显示成果集锦 中国科学院大学在近场光学邻近效应研究中获得进展
