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[文献速递Vol.223]-基于深度学习的亚奈奎斯特采样扫描白光干涉测量

[文献速递Vol.223]-基于深度学习的亚奈奎斯特采样扫描白光干涉测量
撰稿人 | 戴宏

 

TITLE  |  #基于深度学习的亚奈奎斯特采样扫描白光干涉测量#

01

 

论文导读

 

本文介绍了一种使用深度学习的亚奈奎斯特采样垂直扫描白光干涉法(SWLI)。该方法设计了一个通道阈值的包络深度残差压缩网络(E-DRSN-cw),这是一种从欠采样信号中提取过采样包络的网络模型。通过遵循软阈值非线性层方法、在欠采样干扰信号前用零进行预填充、使用LayerNorm增强输入和标签以及预测回归包络,该模型提高了训练效率、准确性和鲁棒性。模拟数据训练了网络,实验表明,与经典方法相比,它在精度和鲁棒性上具有优越性能。E-DRSN-cw为SWLI提供了一种快速测量解决方案,消除了对先验知识的需求。

 

02

 

研究背景

 

扫描白光干涉测量(SWLI)是光学非接触三维表面轮廓测量的重要技术之一。图1所示为典型的迈克尔逊型SWLI,白光光源作为干涉仪的照明源。然后,通过应用压电晶体换能器(PZT)以垂直固定步长高精度移动被测物体,在不同的扫描位置生成干涉图像。随后,系统处理每个像素处的白光干涉信号来确定零光学路径差(ZOPD)的位置,从而获得相应的相对高度值。与单色光干涉测量相比,SWLI克服了相位模糊限制,确保了垂直分辨率达到nm尺度。这种灵活性使其在更广泛的表面场景中具有应用性。

 

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图1. 迈克尔逊式垂直扫描白光干涉仪。

 

理想情况下,获取的白光干涉信号的最大位置对应于ZOPD位置。但在实践中,由于离散测量和噪声的影响,最大信号位置并不直接与ZOPD位置相关联,需要采用各种重建算法来准确地确定ZOPD位置。这些方法包括重心法、相移法、傅里叶变换法(FTM)、小波变换法(WTM)等。然而,奈奎斯特采样定理对这些算法施加了离散扫描步长的限制,并阻碍了实验中白光干涉图像采集的速度提高。为了打破这个限制,已经提出了基于采样理论的平方包络函数估计(SEST)算法和基于傅里叶变换的亚奈奎斯特采样算法(实际原理与频域分析方法(FDA)一致)。这两种算法都存在明显的局限性。例如,SEST需要过滤器来建立算法可以使用的欠采样步骤,而傅里叶算法则受到相位分布非线性的阻碍。因此,迫切需要设计一种高鲁棒性的亚奈奎斯特采样重建算法,该算法在应用过程中不需要任何先验知识(如中心波长和相干长度)

 

考虑到深度学习模型学习高维信息的能力,本文提出了一种名为带通道阈值的包络深度残差收缩网络(E-DRSN-cw)的新结构。该结构是为从欠采样的白光干涉信号中提取高采样率的包络信号而定制的。结构上,E-DRSN-cw架构遵循了DRSN的独特非线性层(软阈值)。然后,它将输入信号用零扩展以匹配过采样信号,使用LayerNorm(LN)对输入和标签进行数据增强,并采用包络回归作为输出。这些结构提高了训练效率、准确性和处理噪声的鲁棒性,并提供了直观的包络预测。本文网络可以从欠采样的白光干涉信号中提取出准确的过采样包络,而无需任何先验知识,并且可以从包络信号中获得准确的ZOPD位置。因此,它可以降低采样率要求,提高白光干涉系统的采样速度,同时保护相对精度的减少。

03

 

方法原理

 

为了基于深度学习方法从欠采样的白光干涉数据中准确重建表面轮廓,需要大量的数据集来训练和验证用于提取包络的E-DRSN-cw,这些数据集中包括对应于各种光源谱的包络数据。将使用白光干涉模型获取大量以纵向扫描位置z为独立变量的模拟干涉信号,使用的白光干涉模型如下:

 

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其中 Ir 和 Im 分别表示所测光学路径和参考光学路径的等效光强度。h 代表测量表面的相对高度值,λ¯表示光源谱中央波长,g(z-h) 是由光源谱确定的干涉信号包络信息,α是系统常数相位误差。虽然这个基本的一维(1D)干涉模型没有考虑散射和衍射等二维因素,但它可以快速生成大量用于在 E-DRSN-cw 上训练的数据集。此外,后续实验结果证明了其可靠性。

 

本文设定E-DRSN-cw的功能是准确地从欠采样白光干涉信号中提取相应的过采样包络信号,因此数据集中的数据应该是欠采样的白光干涉信号,而相应的过采样包络信号应该作为标签。考虑到模拟数据的中心波长可以直接得知,本文利用WTM从噪声过采样白光干涉信号中提取包络标签。

以下是通过白光干涉模型创建仿真数据集的具体程序(步骤编号对应于图2):

(1)利用式(1)得到带噪声、过采样率(采样间隔为50 nm)的模拟白光干涉信号I;

(2) 使用WTM从I中提取相应的过采样包络信号E;

(3)使用300 nm(接近半中心波长,保证是过采样步长的整数倍)采样间隔对I进行下采样,得到Iu。接下来,去除Iu的直流分量,确定其绝对最大值,定位干扰区域的中心。选择中心前后各3µm区域,最终确定干扰特征信号Icu。ZOPD位置位于该特征区域内;

(4)取Icu的起始点作为E对应的起始点,倒取同样的3µm作为对应的包络特征信号Ec。

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图2. 模拟数据集生成流程。

 

专为Sub-Nyquist采样白光干涉设计的E-DRSN-cw采用了基于DRSN的网络结构,但将其分类角色改为回归,其具体结构如图3(a)所示,其中一维卷积层(Conv1d)的卷积核大小均为3,如果未指定,默认步幅为1。首先,Conv1d的主要功能是从信号中提取特征信息。然而,由于原始欠采样信号包含很少的特征信息,使用多层卷积常常导致训练过程中过拟合。因此,E-DRSN-cw将快速零填充所有输入欠采样的干涉信号以增强信号的导数信息。这种方法不仅增强了网络的泛化能力,而且加快了训练过程。

 

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图3. E-DRSN-cw 的训练和测试过程:(a)详细的逐步流程图,其中每种颜色表示不同的层,除了输入和输出表示完整的数据维度值之外,其他层只表示重要的维度变化值;(b)通过训练得到的 E-DRSN-cw 与测试集上的标注包络以及它们之间的差异的比较。

 

04

 

图文结果

 

在像素点(压电陶瓷采样步长为300nm)处获得的实验性欠采样干涉特征信号及其相应的前填充信号如图4(a)所示,本文选择了通用的高精度经典算法和E-DRSN-cw进行重建比较,即FTM、WTM、SEST和FDA。由于FTM和WTM只能提取相应的欠采样包络,因此在特征区域无法直观地比较这些欠采样包络,所以本文只给出了SEST得到的过采样平方包络与E-DRSN-cw得到的过采样平方包络的比较,如图4(b)所示。从图中可以看出,SEST产生的平方包络存在更多的中频误差,而由E-DRSN-cw生成的平方包络更加平滑。本文对所有得到的包络进行牛顿插值以快速提取最佳位置,各算法得到的重建结果分别如图5(a)至5(e)所示。它们展示了由FTM到WTM、FDA、SEST和E-DRSN-cw得到的三维和二维高度分布;显然,通过E-DRSN-cw方法得到的分布更均匀、更光滑,并且蝙蝠翼效应较弱。图5(f)显示了左侧五种方法在标准台阶重建中心处得到的二维剖面高度分布,以及右侧橙色框范围内局部高度分布,可以清楚地看到,E-DRSN-cw的分布要平滑得多。

 

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图4. 实验信号和包络:(a)标准台阶和预填充信号在一点处实验测量的欠采样干扰信号;(b)分别使用E-DRSN-cw和SEST获得的过采样平方包络。

 

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图5. 实验重建结果,包括(a)FTM、(b)WTM、(c)FDA、(d)SEST和(e)E-DRSN-cw的三维和二维俯视高度分布。(f)上述五个重建高度的质心截面比较,红色方框中显示局部高度分布。

 

表1. 实验重建结果和粗糙度

 

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本文参考ISO 25178来计算高度,测量步数Sa和Sq值,测量结果如表1所示。E-DRSN-cw 在高度测量精度和可重复性方面优于其他方法,并且粗糙度也低于其他方法。与 FDA 相比,高度测量精度提高了 67.1%,粗糙度Sa减少了40.2%,Sq减少了40.3%。总之,在简单干涉模型创建的模拟数据集上训练时,E-DRSN-cw 已被证明比传统方法表现更好。E-DRSN-cw 为欠采样的白光干涉数据提供了一个深度神经网络解决方案。

 

05

 

论文总结

 

综上所述,本文提出的欠采样SWLI深度学习方法能够准确、稳健地从欠采样白光干涉信号中提取过采样包络。在测试集中提取包络的准确率达到0.9897,显示出较强的降噪能力,该方法显著降低了系统数据采集的数据量要求,而不同白光干涉系统之间的剩余可行性取决于根据光源类型提供适当的训练集。实验证明,该方法具有较高的精度和鲁棒性,优于以往的经典算法。本文对欠采样白光干涉信号的包络提取的深度学习的新实现提出了一种可行且鲁棒的方法,在白光干涉领域具有巨大的发展潜力。

 

文章链接

 

https://doi.org/10.1364/OL.503696

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