TSST大面积脉冲激光沉积/激光分子束外延系统

荷兰TWente Solid State Technology BV（TSST）公司专注于为用户提供定制化的脉冲激光沉积系统（PLD），以及相关薄膜制备解决方案，公司具有20多年研究与生产脉冲激光沉积系统的经验。

TSST与世界最大的纳米与微系统技术研究中心之一荷兰Twente大学MESA⁺ Institute保持着密切合作，开发出各种脉冲激光沉积技术中需要使用的核心技术。

大面积脉冲激光沉积实现原理：利用激光在条形靶材表面的扫描，实现大面积的薄膜生长；

靶材台展示：

大面积样品加热台展示：

样品生长结果（YSZ on Silicon）：