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Sill Optics场镜ƒ-theta lenses

与XY振镜扫描仪结合使用的透镜称为ƒ-theta透镜,平面场物镜或简称为扫描透镜。ƒ-theta透镜用于各种应用,从工业材料加工,钻孔,合成材料的焊接和切割,以及医疗和生物技术(共聚焦显微镜,眼科)到科学和研究。光学元件的设计和质量起着决定性的作用。

德国SILL OPTICS拥有超过125年光学镜头生产经验。其激光远心场镜/场镜覆盖波长范围广:266nm-1980nm,精度高,幅面均匀性非常好,适用于各类高功率/高精度要求的应用。

其中普通场镜扫描幅面大,加工速度快;远心场镜精度高,均匀性非常好。适用于对加工锥度,切割深度,光斑尺寸和均匀性有高要求的应用,如激光钻孔。

材质分为光学玻璃和熔融石英。光学玻璃扫描幅面更大,成本更低,适用于中小功率应用;熔融石英损伤阈值高,镀膜吸收率更低,温漂效应小。适用于超短脉冲及高功率应用。另外Mini系列场镜体积小,性价比高。适合用于激光清洗等手持设备应用。

 

 

Sill Optics的产品组合范围从简单的准直和聚焦光学到扩束镜,再到远心和非远心扫描透镜。因此,我们涵盖了从193 nm1980 nm的完整波长范围。主要涵盖1064 nm左右固态激光器及其谐波产生的应用。此外,我们还提供专为 1030 nm 1090 nm 范围内的盘式激光器和光纤激光器设计的透镜,以及 800 nm 980 nm 900 nm 1070 nm 的二极管激光器。此外,我们的许多透镜、扩束镜和透镜系统都针对短脉冲激光器(皮秒范围)和超短脉冲激光器(飞秒范围)进行了优化。镜头也可用于 193 nm 248 nm 周围的极短波长,但也可用于近红外和中红外区域(1550nm 1980nm)的更多长波辐射。多种多光谱扫描镜头可供选择,可通过使用的光学元件或使用多个波长进行监测,并完善了我们扫描镜头产品系列的范围。

石英远心场镜波长类型材质焦距幅面最大入射Ø通光孔径工作距离最大外径Ø
S4LFT4031/3281030-1090远心石英32.86x61016.528.790
S4LFT3046/3281030-1090远心石英507 x 7152660.590
S4LFT3050/3281030-1090远心石英60.520 x 20622.381.987
S4LFT4065/3281030-1090远心石英65.115 x 15102483.194
S4LFT0082/3281030-1090远心石英8220 x 20153384.593.8
S4LFT4010/3281030-1090远心石英100.335 x 351032129.8106
S4LFT4127/3281030-1090远心石英125.250 x 501533.5158.1106
S4LFT2175/3281030-1090远心石英163.394 x 942030.5205.4159
S4LFT3162/3281030-1090远心石英163.390 x 901527.7201.5130
S4LFT3301/3281030-1090远心石英317.6120 x 1201530506.3218
S4LFT0082/449900-1070远心石英81.720 x 20153384.193.8
S4LFT4010/449900-1070远心石英99.835 x 351032129.3106
S4LFT2175/449900-1070远心石英162.894 x 942030.5204.7159
S4LFT3162/449900-1070远心石英16390 x 901527.7200.9130
S4LFT4065/094808-980远心石英64.515x15102482.494
S4LFT4010/094808-980远心石英98.935x351032128.3106
S4LFT3162/094808-980远心石英161.590x901527.7199.1130
S4LFT4031/292515-545远心石英32.26x61016.528.490
S4LFT3046/292515-545远心石英48.17x7152660.290
S4LFT3050/292515-545远心石英58.520x2062179.387
S4LFT4066/292515-545远心石英67.215x15102485.894
S4LFT4010/292515-545远心石英10035x351030130.2106
S4LFT4126/292515-545远心石英125.353x531034.6167106
S4LFT4262/292515-545远心石英163.665x651235.2195.4121
S4LFT3161/292515-545远心石英163.990x901026.3219122
S4LFT3301/292515-545远心石英305.5120x1201530487.9218
S4LFT4031/075355远心石英326x61016.52990
S4LFT3046/075355远心石英457x7152655.790
S4LFT3050/075355远心石英5620x20619.575.987
S4LFT4067/075355远心石英65.515x15102481.794
S4LFT4010/075355远心石英100.235x351034.6132106
S4LFT4110/075355远心石英109.463x63633.1154.6121
S4LFT4125/075355远心石英12553x531036.8156.9106
S4LFT4262/075355远心石英16365x651035.2193.7121
S4LFT3170/075355远心石英163.490x901026221.7127
S4LFT5256/075355远心石英256.886x86624145.4138
S4LFT3301/075355远心石英290130x1301030465.9218
石英普通场镜波长类型材质焦距幅面最大入射Ø通光孔径工作距离最大外径Ø
S4LFT3250/3281030-1090普通石英255160x1601532.5321.3159
S4LFT3260/3281030-1090普通石英277.1142x1421531346.2105
S4LFT2340/3281030-1090普通石英339.961x612030.5441.789
S4LFT1330/3281030-1090普通石英340215x2152038.5203.4163
S4LFT1420/3281030-1090普通石英420280x2801428.3499.2122
S4LFT2430/3281030-1090普通石英420.1180x1803053.5292139
S4LFT1500/3281030-1090普通石英500340x3402030.5569.8148
S4LFT2500/3281030-1090普通石英500280x2803048.5620.2198
S4LFT0580/3281030-1090普通石英638.6350x3501039734.789
S4LFT0655/3281030-1090普通石英649.7410x4102034.1561.8134
S4LFT0800/3281030-1090普通石英874.2425x4252035975.296
S4LFT3260/449900-1070普通石英276.1142x1421531345105
S4LFT1330/449900-1070普通石英338.5215x2152038.5202163
S4LFT0435/449900-1070普通石英401.7200x2002034471.5106
S4LFT1420/449900-1070普通石英418.5280x2801428.3497.5122
S4LFT1500/449900-1070普通石英498.4340x3402030.5568.7148
S4LFT0655/449900-1070普通石英646.9410x4102034.1559.1134
S4LFT0260/094808-980普通石英267.4   270.3160x1602033.1128.2   130.8155
S4LFT1330/094808-980普通石英334.8   338.5215x2152038.5198.7   202163
S4LFT0435/094808-980普通石英398.4   401.7200x2002034467.9   471.5106
S4LFT0655/094808-980普通石英640.2   646.9410x4102034.1552.5   559.1134
S4LFT3100/292515-545普通石英112.874x74519.2151.889
S4LFT3260/292515-545普通石英259.4162x1621026325.5105
S4LFT1330/292515-545普通石英347.9212x2121436279122
S4LFT0580/292515-545普通石英613.2367x3671033.5706.989
S4LFT3100/075355普通石英108.376x76617.1145.789
S4LFT3160/075355普通石英174.1109x109621.1218.189
S4LFT3260/075355普通石英250.3155x1551028.1309.8105
S4LFT1330/075355普通石英329.3210x2101436260.5122
S4LFT0580/075355普通石英580.8320x3201039671.589
S4LFT0815/075355普通石英829.4440x4401425981.190
S4LFT0920/075355普通石英919.9470x47014411035.189
Mini场镜波长类型材质焦距幅面最大入射Ø通光孔径工作距离最大外径Ø
S4LFT0710/3281030-1090Mini石英101.460x6051512159
S4LFT0763/3281030-1090Mini石英163100x100715.819459
S4LFT0725/3281030-1090Mini石英254.3140x140815.528359
玻璃远心场镜波长类型材质焦距幅面最大入射Ø通光孔径工作距离最大外径Ø
S4LFT0058/1261064远心玻璃56.516x161026.458.490
S4LFT0055/1261064远心玻璃59.719x191420.166.689
S4LFT0080/1261064远心玻璃79.939x392527.279.4107
S4LFT6125/1261064远心玻璃99.240x402537.4115116
S4LFT5100/1261064远心玻璃107.769x691234.9137.8128
S4LFT5365/1261064远心玻璃162.973x732061.5197.8154
S4LFT5165/1261064远心玻璃163.675x751058.3193.9136
S4LFT0141/1261064远心玻璃183.150x5015108.7216.4108
S4LFT0220/1261064远心玻璃207.3139x1391446288.4281
S4LFT0221/1261064远心玻璃207.3139x1391446273.4281
S4LFT0053/094808-980远心玻璃56.3 57.414x141017.569.3 70.890
S4LFT0075/094808-980远心玻璃76.8 78.219x191033103.6 105.569
S4LFT0080/094808-980远心玻璃79.5 81.039x392527.778.5 80.3107
S4LFT0089/094808-980远心玻璃88.6 89.630x301036.6119.0 120.398
S4LFT5100/094808-980远心玻璃105.6 107.268x681235135.2 137.1128
S4LFT5165/094808-980远心玻璃161.8 163.175x751058.3191.8 193.3136
S4LFT0058/121532远心玻璃53.115x15625.552.690
S4LFT0055/121532远心玻璃59.320x201016.972.189
S4LFT0080/121532远心玻璃7749x491422.874.1107
S4LFT1094/121532远心玻璃8836x361633.8107.585
S4LFT1095/121532远心玻璃8832x321639.8107.385
S4LFT5100/121532远心玻璃100.169x691030126.7128
S4LFT5165/121532远心玻璃162.775x751053.9195.1136
S4LFT0141/121532远心玻璃17150x5015102.1196.6108
S4LFT0200/121532远心玻璃198.475x7520111.6232142
S4LFT0220/121532远心玻璃201.5139x1391046279281
S4LFT0221/121532远心玻璃201.5139x1391046264281
玻璃普通场镜波长类型材质焦距幅面最大入射Ø通光孔径工作距离最大外径Ø
S4LFT0101/1261064普通玻璃99.755x551016.5110.890
S4LFT0099/1261064普通玻璃105.160x601227.2125.390
S4LFT0163/1261064普通玻璃162.4107x1071222181.289
S4LFT2163/1261064普通玻璃163106x1062029192.3128
S4LFT3163/1261064普通玻璃163120x1201522.9186.7103
S4LFT71631064普通玻璃16395x951027197.289
S4LFT0192/1261064普通玻璃191.4125x1252040220.5128
S4LFT0202/1261064普通玻璃201.690x903043242.2132
S4LFT3254/1261064普通玻璃253.8115x1153048.9297130
S4LFT4255/1261064普通玻璃254168x1682038292.8130
S4LFT0253/1261064普通玻璃254.4160x1601427284.989
S4LFT1254/1261064普通玻璃254.7160x1601223.5306.5109
S4LFT0300/1261064普通玻璃298175x1752035350.8128
S4LFT0299/1261064普通玻璃300.8142x1422035346.4128
S4LFT0350/1261064普通玻璃346.3212x2121222.5412.295
S4LFT0352/1261064普通玻璃354.5160x1603053.5396.9128
S4LFT0411/1261064普通玻璃409.6210x2102044472.5105
S4LFT0420/1261064普通玻璃420242x2423059.5480136
S4LFT3480/1261064普通玻璃479.8320x3203063.7443.7260
S4LFT0508/1261064普通玻璃569.7325x3252045651.4127
S4LFT0635/1261064普通玻璃657.3370x3702575732.8133
S4LFT0825/1261064普通玻璃819.7560x5602443.3893.8130
S4LFT0101/094808-980普通玻璃97.5   99.553x531016.5108 110.290
S4LFT0163/094808-980普通玻璃158.3   161.4108x1081220.8176.4 18089
S4LFT2163/094808-980普通玻璃158.8   162103x1032029187.1 191128
S4LFT0202/094808-980普通玻璃196.9   200.490x903043236.2 240.6132
S4LFT3254/094808-980普通玻璃248.7   253.1115x1153047.9290.1 295.5130
S4LFT0300/094808-980普通玻璃292.2   296.5175x1752035344 348.7128
S4LFT0299/094808-980普通玻璃292.8   298.8175x1752035337 344128
S4LFT0400/094808-980普通玻璃397.9   401.6209x2092033487.1 491.2118
S4LFT0420/094808-980普通玻璃410.9   419.6250x2503054.6468.6 478.5136
S4LFT0635/094808-980普通玻璃639.8   653415x4153058.3713.5 728.1133
S4LFT0825/094808-980普通玻璃803.5   812.2450x4503054876.2 885.590
S4LFT0101/121532普通玻璃89.758x58616.596.390
S4LFT0163/121532普通玻璃147.177x77720161.889
S4LFT2163/121532普通玻璃148.3114x1141029173.4128
S4LFT3164/121532普通玻璃162.8120x1201028186.5106
S4LFT1254/121532普通玻璃233.5148x1481024.7282.1109
S4LFT0300/121532普通玻璃276.9200x2001429324.1128
S4LFT3430/121532普通玻璃430310x3102056.3409.1240
S4LFT0508/121532普通玻璃528.3330x3301643603.8127
S4LFT0825/121532普通玻璃768.6585x5851643842.9130
玻璃Mini场镜波长类型材质焦距幅面最大入射Ø通光孔径工作距离最大外径Ø
S4LFT0063/1261064Mini玻璃6336x3681574.559.2
S4LFT0116/1261064Mini玻璃99.765x65714.3111.547
S4LFT0162/1261064Mini玻璃160.1100x100815180.159.2
S4LFT0169/1261064Mini玻璃160.1100x100815178.947
S4LFT0271/1261064Mini玻璃250155x1558.513273.347
S4LFT0316/1261064Mini玻璃299.9180x1808.514.7327.747
S4LFT0335/1261064Mini玻璃335.1210x2108.515.2366.347
S4LFT0063/121532Mini玻璃62.930x3071575.759.2
S4LFT0162/121532Mini玻璃162.1100x100716.1183.559.2

选用场镜,主要考虑的技术参数是工作波长、入射光瞳、扫描范围和焦斑直径。

工作波长:主要是看激光器的波长,场镜是在给定的激光波长镀膜的。如果不在给定的波长范围内用场镜,场镜会被激光烧坏的。

入射光瞳:如使用的是单片镜,反射镜置于入射光瞳的地方,最大可用光束的直径等于入射光瞳的直径。

扫描范围:场镜能扫描到的范围越大,当然越受使用者的欢迎。但是如果增加扫描范围,聚焦光点变大,失真度也要加大。另外加大扫描范围,场镜焦距和工作距也要加大。工作距离的加长,必然导致激光能量的损耗。还有聚焦后的光斑直径跟焦距成正比,这意味着加大扫描范围,焦斑直径跟着加大,光斑聚得不够细,激光的功率密度下降非常快(功率密度跟光斑直径的 2 次方成反比),不利于加工。所以使用者要根据不同的加工面积选用最适合的场镜,或者备用几个不同扫描范围的场镜。

焦斑直径:对于入射激光束直径 D、场镜焦距 F 和光束质量因子 Q 的扫描系统,焦斑直径 d =13.5QF/D (m)。所以用扩束镜可以得到更小的聚焦光斑。

Sill Optics场镜ƒ-theta lenses

远心性

远心ƒ-theta透镜提供垂直入射到图像表面上的光束。这对于在第三维(深度)中钻孔和结构化表面是必需的。缺点是与非远心镜头相比,焦平面通常较小,因为前置镜头元件的尺寸必须大于扫描区域。门槛为这两种ƒ-theta镜头提供了多种选择和焦距。

色彩校正 ƒ-theta 镜片

Sill Optics场镜ƒ-theta lenses

虽然对于fs脉冲来说,材料中的色散可以忽略不计,但脉冲光谱宽度引起的颜色误差起着决定性的作用。脉冲的光谱宽度随着脉冲持续时间的缩短和波长的延长而迅速增加。这会导致颜色误差,其中聚焦光束的轴向和横向位置因不同颜色而异。所得光斑的偏差量取决于焦距和波长。Sill提供ƒ-theta透镜,这些透镜专为飞秒激光器使用而设计,并纠正这种颜色误差,从而在整个扫描区域内保持一致的光束形状。

对于在线检测系统,我们成功地向市场推出了1064 nm和532 nm的色彩校正ƒ-theta镜片。色彩校正允许一个镜头同时用于多个制造步骤。

Sill Optics场镜ƒ-theta lenses

此外,我们还提供专为共聚焦显微镜应用而设计的色彩校正ƒ-theta透镜,针对450 nm至650 nm的波长范围进行了优化,并针对355 nm和1064 nm进行了优化。多个波长的焦距和工作距离相同,因此在整个波长范围内,激光和检测波长的成像场分别相同。