Phasics Kaleo MultiWAVE多波长干涉仪
Phasics Kaleo MultiWAVE动态干涉仪能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差(TWE / RWE)。 直径最高至5.1英寸(130毫米)的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案,拥有极高性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度,及动态干涉仪的优秀抗震性能。
Kaleo MultiWAVE多色干涉仪| 独特的干涉仪| 几个波长的波前误差
Kaleo MultiWAVE工作台是一种独特的仪器,可在多个波长下提供波前误差。诸如透镜,滤光器或镜子之类的光学元件可以在其工作波长下表征,KaleoMultiWAVE可在不同波长下工作,以在涂层的工作波长下对光学元件和涂层进行鉴定。
该工作台具有与干涉测量相似的卓越精度,并且在大直径上具有非常好的动态特性。
测量在双通道中进行,无论是透射还是反射
光学设置 | 双通 |
标准波长 | 625 / 780 / 1050 nm |
定制波长 | 400 to 1100 nm |
光学孔径 | 5.1" (130 mm) |
重复性(ISO 5725) | <5 nm RMS |
再现性(ISO 5725) | <7 nm RMS |
动态范围(散焦)RWE | 10μm PtV |
动态范围(散焦)TWE | 200nm RMS |
精度(RWE) | <80 nm RMS |
精度(TWE) | <20 nm RMS |
尺寸 | 910 x 600 x 260 mm |
技术优势:
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应用:
市场:
规格:
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与Fizeau干涉仪对比:
光学设置 | Fizeau | Phasics |
Diameter (mm) | 124.9 | 125.4 |
RWE (nm PtV) | 1498.13 | 1535.38 |
RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR | 35.2 | 28.1 |
RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA | 9.1 | 12.9 |
SAG (fr)-- ISO 10110 | 5.13 | 5.04 |
IRR (fr) | 0.75 | 0.61 |
RSI (fr) | 0.34 | 0.23 |
RMSt (fr) | 1.477 | 1.459 |
RMSi (fr) | 0.129 | 0.103 |
RMSa (fr) | 0.085 | 0.059 |