OptoSigma超级反射镜
西格玛光机反射镜中的OptoSigma超级反射镜是一款具备极高反射率的反射镜，其英文名称是Super Mirror。超反射镜OptoSigma的表面质量10-5，正面高反射率>99.999%，反面反射率<0.15%，这款超高反射率反射镜使用离子束溅射(IBS)镀膜工艺，使得镀膜涂层质量高且细密，缺陷少。Sigma反射镜TFHSM系列提供532nm和1064nm两种波长，超级反射镜(Supermirrors)为提高法布里－珀罗干涉仪的性能而开发，用（光）高精度检测距离或时间时，常用的是法布里－珀罗干涉仪（Fabry-Perot interferometer）。
OptoSigma超级反射镜
532nm和1064nm，反射率>99.999%，OptoSigma超级反射镜
西格玛光机的超级反射镜（Super Mirror）是一组反射率极高的反射镜，这些超高反射率反射镜非常适合需要高精细度和窄光谱带宽的法布里－珀罗干涉仪。法布里－珀罗干涉仪（Fabry-Perot interferometer）通常用于利用光测量精度极高的时间或距离，OptoSigma超级反射镜是高性能反射镜，可提供接近100%的反射率，从而最大限度地提高谐振器的性能。
OptoSigma反射镜采用高度专业化的抛光技术，在表面粗糙度Ra<0.1nm的基板上实现了低散射，另外，还采用了离子束溅射(IBS)光学镀膜工艺，使得镀膜涂层细密而无缺陷。OptoSigma超级反射镜的标准产品提供532nm和1064nm两种波长供选择，其中反射率1064nm(R>99.999%)和532nm(R>99.9995%)。
OptoSigma还可根据用户要求定制波长和尺寸，当定制凹面基底上的超级镜面涂层时，请注明曲率半径。如需了解在线或产品目录中未列出的不同波长、尺寸和入射角度的产品，请联系我们。
图1：超级反射镜（Supermirrors）图示
OptoSigma超级反射镜的主要特点：
- – 采用离子束溅射(IBS)镀膜工艺，镀膜涂层质量高且细密，缺陷少。
- – 通过特殊的高精密抛光技术，使得在表面粗糙度Ra<0.1nm的基板上实现低散射。
- – 反射率高达99.999%的镜面涂层是通过多年开发的涂层设计技术实现的。
- – 由于基底和涂层造成的散射损耗非常小，因此将其放入法布里－珀罗腔中时，可以实现高精细度和非常窄的光谱带宽。
- – 提供532nm和1064nm两种波长。
| 共同参数 | |
| 材质 | 合成熔融石英 |
| 镀膜 |
正面：电介质高反射多层膜 反面：电介质防反射多层膜 |
| 入射角 | 0° |
| 表面精度 | λ/10 |
| 平行度 | ＜5″ |
| 表面质量 | 10-5 |
| 有效直径 | 外径的80% |
| 反面反射率 | <0.15% |
| 形状 | 平面基板Optical Flat |
OptoSigma超级反射镜的注意事项：
– 作为单面镜使用时，由于反射率较高，几乎没有透过光。如果想要利用透射光的话，请将其装配到建高精度的法布里－珀罗腔使用。
– 由于污垢、灰尘和气体污染等会对测量值产生影响，因此，建议在清洁的环境中测量或处理此反射镜。
– 如果法布里－珀罗腔由两个平面镜组成，输出光可能会变得不稳定。为了实现稳定的腔体，请将一侧或两侧的反射镜改成凹面镜，并构建一个腔体。
– 西格玛光机反射镜的生产和测试周期比较长，因此交货期要比在线和产品目录中的标准产品更长，详情请事先咨询。
超反射镜OptoSigma的规格参数表：
| 规格 | 波长 | 外径尺寸 | 厚度 | 反射率*1 | Loss损失*2 |
| TFHSM-12.7C06-532 | 532nm | f12.7mm | 6mm | ＞99.995% | 20ppm |
| TFHSM-25C06-532 | 532nm | f25mm | 6mm | ＞99.995% | 20ppm |
| TFHSM-25.4C06-532 | 532nm | f25.4mm | 6mm | ＞99.995% | 20ppm |
| TFHSM-30C06-532 | 532nm | f30mm | 6mm | ＞99.995% | 20ppm |
| TFHSM-50C08-532 | 532nm | f50mm | 8mm | ＞99.995% | 20ppm |
| TFHSM-12.7C06-1064 | 1064nm | f12.7mm | 6mm | ＞99.999% | 8ppm |
| TFHSM-25C06-1064 | 1064nm | f25mm | 6mm | ＞99.999% | ＞99.999% |
| TFHSM-25.4C06-1064 | 1064nm | f25.4mm | 6mm | ＞99.999% | ＞99.999% |
| TFHSM-30C06-1064 | 1064nm | f30mm | 6mm | ＞99.999% | ＞99.999% |
| TFHSM-50C08-1064 | 1064nm | f50mm | 8mm | ＞99.999% | ＞99.999% |
*1以上反射率是使用CRD(Cavity Ring-Down)测量的，如果测量条件和测量方法不同，反射率可能会有差异。
*2 “Loss损失”中的数值仅为参考数据，产品出货时不附带此参数的实测数据。
超反射镜OptoSigma的外形图和功能说明图：
图2：左图：外形图，右图：功能说明图
超反射镜的反射率曲线图：
图3：TFHSM系列反射率曲线图
