NightN光学表面形貌测试仪HION
NightN光学表面形貌测试仪HION产品介绍:
光学测试仪HION用于光学表面测试。该技术基于 Shack-Hartmann 方法。激光束从被测光学表面反射并进入 Shack-Hartmann 波前传感器进行进一步处理。
产品规格:
- 光学孔径:10 至 50 mm(可选300 mm)
- 测量时间:10 ms
- 测量精度:32nm (P-V)
- 测量偏差:5µm(P-V)
- 光源:二极管激光器
- 光源波长:0.65µm
- CCD/CMOS相机
结果输出:
- 峰-谷误差P-V,均方根(RMS)
- 将像差展开为Seidel 和 Zernike 多项式(倾斜、散焦、像散等)
- 2D 和 3D 波前,干涉条纹