LasernanoFab双光子聚合激光直写系统M4D
通过双光子聚合 （2PP） 直接激光写入光刻胶是一种新兴技术，用于快速灵活地制造结构尺寸小于 100 nm 的全三维 （3D） 结构。M4D 微纳结构系统能够在大面积和体积上高速生成 2D 和 3D 微纳结构。
应用
- 微氟化剂
- 生物学
- 药
- 微光学
- 细 观 力学
- 3D 自由曲面结构
- 2D 曲面结构
通过双光子聚合 （2PP） 直接激光写入光刻胶是一种新兴技术，用于快速灵活地制造结构尺寸小于 100 nm 的全三维 （3D） 结构。M4D 微纳结构系统能够在大面积和体积上高速生成 2D 和 3D 微纳结构。
应用
- 微氟化剂
- 生物学
- 药
- 微光学
- 细 观 力学
- 3D 自由曲面结构
- 2D 曲面结构
技术
- 用飞秒激光聚合光刻胶
- 亚微米分辨率，双光子聚合
- 微纳结构
MATERIALIEN
- 我们针对 2PP 优化的光刻胶：femtoBond®
- 用于光刻的标准光刻胶
- 可生物降解和生物相容性光刻胶
法克滕
- 从纳米到毫米的快速原型制作
- 3D纳米快速成型关键技术
- 用于研究和开发
PARAMETERS
| Resolution | 100nm – 100µm |
| Positioning Speed (typical) | up to 50 mm/s |
| Scanning Speed (typical) | up tp 1 m/s |
| Polymerization Volume (typical) | 10cm x 10cm x 10cm |
| Lasertypes | Ultrashort Lasers |
| System | Open Design, customer specific modifications possible |
| Footprint | ca. 1 m² |
Configuration example
| femtosecond pump laser wavelength | 1030nm |
| pump laser power | 10W |
| pump laser rep. rate | 1kHz to 1 MHz |
| pump laser pulse duration | 290 fs-10 ps |
| second harmonic generator: | |
| laser output power | >0.7 W |
| pulse duration | < 100 fs |
| wavelength | 515 nm |
| repetition rate | 75 MHz ± 1 |
| linear axes | air-bearing |
| bidirectional repeatibility | < ±0,075 µm |
| speed (w/o load) | (XY) 2m/s , (Z) 1m/s |
| objective | NA 0.5 |
| 2PP-structure height (Z) | WOW-2PP prepared, structure height in Z only limited by the travel of the Z-axis |
| sofTWare | can be extended with own Visual Studio modules |
Other configurations are available.
