KMLabs极紫外超快光源XUUS
XUUS上变频超快激光脉冲 光谱的极端紫外线（EUV或XUV）或软X射线区域。采用HHG工艺，输出光束继承了驱动激光器（如KMLabs RAEA）的相干特性 ，其波长可在~10至50 nm范围内调谐。此外，定制系统可以产生波长短至6nm的相干光束。XUUS 5采用KMLabs获得专利的空心波导，用于高谐波上变频过程。
KMLabs极紫外超快光源XUUS主要参数
| Wavelength | Flux* | Repetition Rate | Pointing Stability | Power Stability |
|---|---|---|---|---|
| 30 nm | >5x1012 ph/sec per harmonic | 1 - 20 kHz | <5 µrad RMS | <5% RMS |
| 13 nm | >1010 ph/sec per harmonic | 1 - 10 kHz | <5 µrad RMS | <5% RMS |
| 6 nm | >106 ph/sec per 10% BW | 1 kHz | <10 µrad RMS | <10% RMS |
来自坚固耐用的工程 EUV 系统的先驱
好消息：您不再需要将实验室资源用于构建高谐波发生 （HHG） 系统。第五代KMLabs的XUUS™极紫外超快源是一个交钥匙系统，可让您直接进入实验。XUUS 5是一种基于高谐波产生的相干EUV/软X射线光源。它是一个完全工程化和集成的商业来源，基于一个强大的光机械平台。
HHG如何运作？通过单击此处了解HHG的物理原理。
XUUS 5将超快激光脉冲上变频到光谱的极端紫外（EUV 或 XUV）或软 X 射线区域。采用HHG工艺，输出光束继承了驱动激光器（如KMLabs RAEA）的相干特性，其波长可在~10至50 nm范围内调谐。此外，定制系统可以产生波长短至6nm的相干光束。XUUS 5采用KMLabs获得专利的空心波导，用于高谐波上变频过程。
XUUS空心光纤或波导架构使系统产生的谐波与其他HHG方法区分开来，保证您的谐波每次都来自空间中的同一点，从而最大限度地减少任何指向漂移。此架构可优化实验的可重复性。此外，使用光纤（而不是典型的气体射流或半无限气室目标几何形状）为相位匹配的HHG提供了出色的压力可调性。现在，您可以在不牺牲灵活性的情况下选择稳健性。
XUUS极紫外超快光源是基于高次谐波的相干EUV/软X射线源，这是一套完全工程化和商业化的集成系统。这套系统使用了KMLabs的专利的空心波导技术来产生高次谐波，输出光束是完全相干和类激光的。关于高次谐波（HHG）的产生，更多信息，请点击“高次谐波产生”。KMLabs使用专利的空心波导技术，在波导中可以实现高次谐波的最佳转换，使用最少的气体，获得最高的稳定性。对于最苛刻的应用，EUV通量可能超过> 5×10 12 ph / sec
KMLabs极紫外超快光源XUUS应用：
- 光发射：TR-ARPES和阿托秒材料科学
- 纳米电的计量和支持EUV光刻
- 高分辨率和时间分辨无透镜纳米成像
- 超快磁性材料和自旋电子学研究
- 磁性、材料、分子和纳米系统动力学的高时空分辨率泵探针研究
- 分子动力学和化学
具有显著优势的功能：
- 获得专利的空心波导高谐波转换，可实现最佳转换、稳定性、可重复性和鲁棒性。
- EUV 通量可超过 > 1×1012ph/sec 适用于要求最苛刻的应用。
- 超稳定、4轴主动稳定光束，产生与可见红外激光器相当的EUV光束强度和波前稳定性。
- 高平均功率处理能力推动下一代实验。
- 用于性能监控和对准控制的诊断摄像机。
- 图形化、直观的软件控制。
- 稳定的工业光学安装在温度稳定的平台上。
- 不断增长的特定应用光束线系列，为您的实验量身定制光子。
- 高相干性，激光样EUV（XUV）/ SXR。
- XUUS 系统配置可生成波长约为 6 nm 的软 X 射线。
- 波导设计允许以最少的气体使用量有效利用高压气体：比气体喷射几何形状少1000倍，效率提高1000倍。
- XUUS输出可以针对不同的应用进行优化：ARPES，成像，瞬态吸收，MOKE，XMCD。
KMLabs极紫外超快光源XUUS特色应用：
KMLabs 的 XUUS 源可实现第一个亚波长 EUV 13.5 nm 成像
宽视场反射模式点阵成像显微镜，带台式 12.7 nm 高谐波照明
