美国KMLabs超快X射线光源

KMLabs在将最先进的超快激光技术推向市场方面有着悠久的历史。在20世纪90年代，KMLabs从Kapteyn-Murnane研究小组分离出来，该小组设计并展示了第一批10fs Ti：蓝宝石激光器，现已在全球范围内使用。KMLabs的成立是为了满足其他科学家对在脉冲持续时间的基本限制下工作的激光器的强烈需求 – 传统激光公司根本没有满足这一需求。

到2000年代初，KMLabs还商业化了第一个高平均功率低温冷却Ti：sapphire放大器系统，提供创纪录的25W平均功率，TW峰值功率，kHz重复率和≈20-30fs脉冲持续时间。到2009年，KMLabs率先推出了第一个商业高谐波源，通过强飞秒激光器的频率上变频产生相干的EUV光束。这演变成我们的 XUUS断续器产品线，在光谱学、成像和材料计量方面拥有大量已得到验证的应用。2015年，KMlabs获得了由英特尔资本牵头的A轮风险投资，以及科罗拉多州影响基金和Kairos Ventures。这项投资的动机是需要与下一代光刻相关的用于检测和计量的高平均功率EUV / SXR相干源，以及需要更好的纳米计量分析工具。这些资金用于显着增强KMLabs产品的工程设计，聘请制造和销售专家，并建造一个21，000平方英尺的新设施，包括一个5，000平方英尺的洁净室空间，允许为苛刻的应用进行制造。