Horiba椭圆偏振光谱仪UVISEL PLUS
椭圆偏振光谱仪，薄膜表征的有效技术
椭圆偏振光谱是一种表面敏感、非破坏性、非侵入性的光学技术，广泛应用于薄层和表面特征。它基于线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变，通过模型拟合获得厚度以及光学常数等。根据薄膜材料的不同，可测量的厚度从几个Å到几十微米。椭圆偏振光谱是一种很好的多层膜测量技术。
椭圆偏振光谱仪可以表征薄膜的一系列特性，如膜厚、光学特性(n,k)、光学带隙、界面和粗糙度厚度，薄膜组成，膜层均一性，等等。椭圆偏振光谱适合分析的材料包括半导体、电介质、聚合物、有机物和金属。也可用于研究固-液或液-液界面。HORIBA椭圆偏振光谱仪采用新型高频偏振调制技术，测试过程中无任何机械旋转。与传统椭偏仪相比，更快的测试速度、更宽的测量范围以及更高的表征精度。
UVISEL PLUS椭圆偏振光谱仪
研究级经典型椭偏仪
光谱范围从FUV到NIR：190-2100nm
UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪为先进薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。
UVISEL Plus作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，它采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比， 能提供更好的稳定性和信噪比。光谱范围从190nm到2100nm。
UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品测试（190-2100 nm），校准仅需几分钟。基于全新的电子设备，数据处理和高速单色仪，FastAcq技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq专门为薄膜表征设计，双调制技术可以确保您获得优异的测试结果。
相位调制技术的独有特点为高频调制 50 kHz，信号采集过程无移动部件：
- 测试全范围的椭偏角，Ψ (0-90)，Δ (0-360)
- 从FUV到NIR具有优良的信噪比
- 数据采集速度快，高达50毫秒/点，是动力学研究和在线测量的理想选择
相比于采用 旋转元件调制的传统椭圆偏振光谱仪，UVISEL Plus的相位调制模式在表征薄膜方面具有更高的灵敏度和精度。它不仅可以探测到其他椭偏仪无法观测到的极薄膜或界面，还可以表征50µm的厚膜。
在测试有背反射的透明样品时，测试简单、准确，无需刮花背面。
UVISEL Plus还设计有多种附件及可选功能，便于客户根据应用需求及预算选择合适的配置。比如，微光斑用于图案样品、自动变角器、自动样品台等。
UVISEL Plus采用模块化设计，可灵活扩展。即可用于离线台式测量，也可以耦合于镀膜设备做在线监控。
UVISEL Plus可根据习惯选择操作界面，一个是 DeltaPsi2 具有建模和拟合处理功能；另一个是 Auto-Soft 用户导向的全自动样品测试界面 ，工作流程直观，易于非专业人士操作。
UVISEL Plus搭载FastAcq技术是材料研究和加工、平板显示、微电子和光伏领域中优选通用光谱型椭偏仪。
UVISEL Plus是材料科学研究的理想工具。
产品优势
- 高精度和高灵敏度
- 模块化设计
- 宽光谱范围： 190-2100 nm
- 集数据测量、建模和自动化操作为一体的软件包
获得的信息
- 膜层厚度，从1Å到50 µm
- 表面和界面粗糙度
- 光学常数 (n,k) ，适用于各向同/异性和渐变层
- 光学特性如：吸收系数α, 光学带隙Eg
- 材料性能：合金成分、孔隙率、结晶度及形貌等
- 穆勒矩阵
- 退偏
Auto SE – 自动化薄膜测量工具
Auto SE-HORIBA
一键式全自动快速椭偏仪
Auto SE是一种新型薄膜测量工具。仅需简单的几个按钮，几秒钟内即可自动完成样品测量和分析，并提供完整的薄膜特性分析报告，包括薄膜厚度、光学常数、表面粗糙度和薄膜的不均匀性、反射率或透过率。
Auto SE全自动化设计、一键式操作，功能齐全。配备自动XYZ样品台进行成像分析，自动切换微光斑，多种附件可选，以满足不同的应用需求。
Auto SE借助完整的操作向导，自动检测并诊断问题，对故障进行处理，仪器维护简单
Auto SE是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
Smart SE- 功能强大，高性价比椭偏仪
SmartSE-HORIBA
智能型多功能椭偏仪
Smart SE, 智能型多功能椭偏仪
Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）。
Smart SE利用 DeltaPsi2 软件平台在几分钟内对450-1000nm的光谱数据进行采集、建模分析。自动化双软件操作平台，从简化的工作流程到高端研发，满足不同层次和需求的客户。
Smart SE是一款性价比极高的薄膜研发工具，以经济实惠的价格提供了研究级的性能。标配一套完整样品可视化系统，准确定位分析位置及区域，7个不同尺寸的微光斑可用于微区特征分析。几秒钟即可获得完整的16位穆勒矩阵，用于复杂样本的研究。
Smart SE配置灵活、具备多角度测量能力，可方便实现在线与离线配置切换。是一款针对单层和多层薄膜进行简单、快速、准确表征和分析的工具, 可用于在线原为测试。Smart Se可以满足各类应用领域，包括微电子，光伏，显示，光学涂料，表面处理和有机化合物等。
