Difrotec点衍射激光干涉仪 D7-λ/1000
Difrotec 在光学测试方面开发了一项突破性技术
Difrotec 在光学测试方面开发了一项突破性技术
Difrotec是超高精度光学表面贴图的全球领导者。我们在光学系统和光学图像处理的数学建模，开发用于DUV和EUV光刻的高精度光学系统的组装，调整和测试的计算机模型的开发方面拥有30多年的经验，在点衍射波阵面研究方面已有8年以上的经验测试各种参数的光学元件。
我们开发设计和制造了全球市场上第一台商用点衍射干涉仪。它是一种紧凑自动相移干涉仪D7，用于测量光学表面图形和光学系统的透射波前质量。
D7作为通用仪器，具有多种计量工具的优点：绘制表面图形，揭示光学器件制造和组装技术的特征和缺陷以及测试光学系统的图像质量。所有这些功能均提供了世界上最高的绝对精度-埃。
| 峰谷绝对精度 | ± 0.6 nm （λ / 1000） |
| 峰谷分辨率 | 0.05 nm（λ/ 12000） |
| 波前RMS重复性 | < 0.23 nm（λ / 2800） |
| 单点RMS重复性 | < 0.06 nm（λ / 10500） |
| 激光类型和波长 | He-Ne ，632.8 nm |
| 数值孔径NA | 0.55（f＃0.91） |
| 数据采集 | 相移干涉技术（PSI） |
| 图像缩放系统 | 通过软件界面控制4倍光学变焦 |
| 采集时间 | 10ms |
| 曝光时间 | 最小40μs |
| 光学聚焦范围 | ±2m |
理想参考：无使用物理参考引入的传播错误
- 节省时间，无需更改大量物理参考
- 节省成本，无需购买昂贵的参考套件
透射球面检测精度比Fizeau干涉仪的检测精度高100倍
- 节省时间和成本，不需要中间仪器或其他方法来提高准确性
D7比其他干涉仪检查更多的表面特征
- 在安装和启动光学系统之前能更好地揭示制造缺陷误差，从而节省了成本
高稳定性
- 节省时间，出色的重复性提供了高准确性的结果
- 节省成本，检测不需要特殊的环境条件
应用范围广
- 结构紧凑简单，不论下实验室或工厂使用都可以
无回程误差
- 在测量非球面和自由曲面时，简化了设置，节省了时间和成本
测量方案
1.球形凹面：
2.球形凸面：
3.平面：
4.光学系统（波前质量测试）：
光学测试与测量
光学测试和测量服务包括测试光学系统的凹面，凸面，直角立方体，平面，非球面，自由形式和透射波前的表面图形，以及曲率半径的测量
光学设计与制造
基于在高精度光学系统计算机建模方面的30多年经验，我们建立了自己的合作伙伴关系，以设计和制造高质量的光学器件。我们在光学制造方面的长期合作伙伴是KPU-韩国工业大学。
